華懋科技：徐州博康目前擁有10余款KrF光刻膠，其中部分款已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)

　　華懋科技在互動(dòng)平臺(tái)上表示，徐州博康目前擁有10余款KrF光刻膠，主要應(yīng)用在55-14nm節(jié)點(diǎn)，其中部分款已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。徐州博康的KrF光刻膠產(chǎn)品主要分為高分辨率正膠、高分辨率負(fù)膠、金屬剝離負(fù)膠、厚膠四大類(lèi)。高分辨正膠厚度可涵蓋0.15um-1.2um，極限分辨率可達(dá)到120nm，徐州博康目前在積極推動(dòng)高分辨率產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)主要晶圓廠客戶的驗(yàn)證評(píng)估。