光刻機(jī)巨頭ASML擴(kuò)產(chǎn)EUV與DUV設(shè)備

　　據(jù)中國(guó)臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)，光刻機(jī)巨頭阿斯麥宣布擴(kuò)產(chǎn)EUV與DUV乃至于下世代EUV設(shè)備計(jì)劃。業(yè)界預(yù)計(jì)，從客戶應(yīng)用來(lái)看，晶圓代工需求最強(qiáng)，特別是先進(jìn)制程技術(shù)投資不易降低，將持續(xù)帶動(dòng)阿斯麥長(zhǎng)期增長(zhǎng)明朗。阿斯麥說(shuō)明，計(jì)劃將年產(chǎn)能增加到90臺(tái)EUV和600臺(tái)DUV系統(tǒng)(2025-2026年)，以及20臺(tái)High-NA EUV系統(tǒng)(2027-2028年)。